MEMS సెన్సార్ పని మరియు దాని అనువర్తనాలు

సమస్యలను తొలగించడానికి మా పరికరాన్ని ప్రయత్నించండి





MEMS అనే పదం మైక్రో-ఎలక్ట్రో-మెకానికల్ వ్యవస్థలను సూచిస్తుంది. ఇవి పరికరాల సమితి, మరియు ఈ పరికరాల యొక్క వర్గీకరణ వాటి చిన్న పరిమాణం & డిజైనింగ్ మోడ్ ద్వారా చేయవచ్చు. ఈ సెన్సార్ల రూపకల్పన 1- 100-మైక్రోమీటర్‌తో చేయవచ్చు భాగాలు . ఈ పరికరాలు చిన్న నిర్మాణాల నుండి చాలా కష్టతరమైన ఎలక్ట్రోమెకానికల్ వ్యవస్థలకు భిన్నంగా ఉంటాయి, ఇవి విలీనం చేయబడిన మైక్రో-ఎలక్ట్రానిక్స్ నియంత్రణ క్రింద అనేక కదిలే మూలకాలతో ఉంటాయి. సాధారణంగా, ఈ సెన్సార్లలో ఒక ప్యాకేజీలో మెకానికల్ మైక్రో-యాక్యుయేటర్స్, మైక్రో స్ట్రక్చర్స్, మైక్రో ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మైక్రో సెన్సార్లు ఉంటాయి. ఈ వ్యాసం MEMS సెన్సార్, పని సూత్రం, ప్రయోజనాలు మరియు దాని అనువర్తనాలు గురించి చర్చిస్తుంది

MEMS సెన్సార్ అంటే ఏమిటి?

MEMS తక్కువ-ధర మరియు అధిక ఖచ్చితత్వం జడత్వ సెన్సార్లు మరియు ఇవి విస్తృతమైన పారిశ్రామిక అనువర్తనాలకు ఉపయోగపడతాయి. ఈ సెన్సార్ మైక్రో-ఎలక్ట్రో-మెకానికల్-సిస్టమ్ అనే చిప్-ఆధారిత సాంకేతిక పరిజ్ఞానాన్ని ఉపయోగిస్తుంది. ఇవి సెన్సార్లు ఒత్తిడి వంటి బాహ్య ఉద్దీపనను గుర్తించడానికి మరియు కొలవడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఆ తరువాత కొన్ని యాంత్రిక చర్యల సహాయంతో ఒత్తిడిని కొలిచే ఒత్తిడికి ఇది ప్రతిస్పందిస్తుంది. దీనికి ఉత్తమ ఉదాహరణలు ప్రధానంగా ఒత్తిడి మార్పును భర్తీ చేయడానికి మోటారును తిరగడం.




ది MEMS IC కల్పన సిలికాన్‌తో చేయవచ్చు, తద్వారా స్వల్ప పదార్థ పొరలు Si ఉపరితలంపై స్థిరంగా ఉంటాయి. ఆ తరువాత డయాఫ్రాగమ్‌లు, కిరణాలు, మీటలు, స్ప్రింగ్‌లు మరియు గేర్‌లు వంటి మైక్రోస్కోపిక్ 3 డి నిర్మాణాలను వదిలివేయడానికి ఎంపిక చేసుకోండి.

mems-ic

mems-ic



MEMS కల్పనకు ఆక్సీకరణ ప్రక్రియ, విస్తరణ ప్రక్రియ, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ, తక్కువ-పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ, స్పట్టరింగ్ వంటి ఇతర సెమీకండక్టర్ సర్క్యూట్లను నిర్మించడానికి ఉపయోగించే అనేక పద్ధతులు అవసరం. అదనంగా, ఈ సెన్సార్లు మైక్రోమాచినింగ్ వంటి నిర్దిష్ట ప్రక్రియను ఉపయోగిస్తాయి.

MEMS సెన్సార్ వర్కింగ్ ప్రిన్సిపల్

MEMS సెన్సార్‌కు వంపు వర్తించినప్పుడల్లా, సమతుల్య ద్రవ్యరాశి విద్యుత్ సామర్థ్యంలో తేడాను కలిగిస్తుంది. కెపాసిటెన్స్ లోపల మార్పు లాగా దీనిని కొలవవచ్చు. అప్పుడు డిజిటల్, 4-20 ఎంఏ లేదా విడిసిలో స్థిరమైన అవుట్పుట్ సిగ్నల్ సృష్టించడానికి ఆ సిగ్నల్ మార్చవచ్చు.

పారిశ్రామిక ఆటోమేషన్, పొజిషన్ కంట్రోల్, రోల్ మరియు పిచ్ కొలత మరియు ప్లాట్‌ఫాం లెవలింగ్ వంటి గరిష్ట ఖచ్చితత్వాన్ని డిమాండ్ చేయని కొన్ని అనువర్తనాలకు ఈ సెన్సార్లు చక్కటి పరిష్కారాలు.


MEMS రకాలు

MEMS సెన్సార్ల యొక్క సాధారణ రకాలు మార్కెట్లో పొందవచ్చు

  • MEMS యాక్సిలెరోమీటర్లు
  • MEMS గైరోస్కోపులు
  • MEMS ప్రెజర్ సెన్సార్లు
  • MEMS అయస్కాంత క్షేత్ర సెన్సార్లు

MEMS ప్రయోజనాలు

MEMS సెన్సార్ యొక్క ప్రయోజనాలు క్రిందివి.

  • MEMS తయారీ తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన మాస్ ఆవిష్కరణ వంటి సెమీకండక్టర్ IC తయారీ, MEMS పరికరాలకు స్థిరత్వం కూడా అవసరం.
  • సెన్సార్ ఉప-భాగాల పరిమాణం 1 నుండి 100 మైక్రోమీటర్ల పరిధిలో ఉంటుంది, అలాగే MEMS పరికర పరిమాణం 20 మైక్రో మీటర్ నుండి మిల్లీమీటర్ పరిధిని నిర్ణయిస్తుంది.
  • విద్యుత్ వినియోగం చాలా తక్కువ.
  • వ్యవస్థల్లో చేర్చడానికి లేదా మార్చడానికి సులభం
  • ఉష్ణ స్థిరాంకం చిన్నది
  • ఇవి షాక్, రేడియేషన్ మరియు వైబ్రేషన్‌ను ఎక్కువగా వ్యతిరేకిస్తాయి.
  • మంచి ఉష్ణ అభివృద్ధి సహనం
  • సమాంతరత

MEMS యొక్క అనువర్తనాలు

MEMS సెన్సార్లు వివిధ డొమైన్‌లలో ఉపయోగించబడతాయి ఆటోమోటివ్ , వినియోగదారు, పారిశ్రామిక, మిలిటరీ, బయోటెక్నాలజీ, అంతరిక్ష పరిశోధన మరియు వాణిజ్య ప్రయోజనాలు, వీటిలో ఇంక్జెట్ ప్రింటర్లు, ఆధునిక కార్లలో యాక్సిలెరోమీటర్లు, వినియోగదారు ఎలక్ట్రానిక్స్, వ్యక్తిగత కంప్యూటర్లలో మొదలైనవి ఉన్నాయి.

MEMS పరికరాల యొక్క ఉత్తమ ఉదాహరణలు ప్రధానంగా అడాప్టివ్ ఆప్టిక్స్, ఆప్టికల్ క్రాస్-కనెక్ట్స్, ఎయిర్‌బ్యాగ్ యాక్సిలెరోమీటర్లు , టీవీలు & డిస్ప్లేల కోసం అద్దాల శ్రేణులు, స్టీరబుల్ మైక్రో మిర్రర్లు, RF MEMS పరికరాలు, పునర్వినియోగపరచలేని వైద్య పరికరాలు మొదలైనవి.

అందువలన, ఇది అన్ని గురించి MEMS సెన్సార్ . ఈ సెన్సార్ల యొక్క ప్రధాన ప్రతికూలత ఏమిటంటే, ప్రతి భాగానికి తయారీ ఖర్చు చాలా తక్కువగా ఉన్నప్పటికీ. MEMS- ఆధారిత ఉత్పత్తిని రూపకల్పన చేసేటప్పుడు, తయారుచేసేటప్పుడు మరియు తరువాత వచ్చేటప్పుడు భారీ పెట్టుబడి ఉంది. పర్యవసానంగా, డిజైనర్లు తక్కువ వాల్యూమ్ అనువర్తనాల కోసం భాగాలను విస్తరించే అవకాశం లేదు. మీ కోసం ఇక్కడ ఒక ప్రశ్న ఉంది, MEMS పరికరాల వర్గాలు ఏమిటి?